Aktive Schwingungsisolatoren

Überragende Schwingungsisolation und kurze Einschwingzeiten für hochpräzise Systeme

Falls Sie hochpräzise Messsysteme oder Fertigungsanlagen im Einsatz haben, dann wissen Sie um die Notwendigkeit einer guten Schwingungsisolation. Störende Schwingungsanregung aus der Umgebung sind überall anzutreffen. Auch ohne sie bewusst wahrzunehmen, haben sie doch einen negativen Einfluss auf die Genauigkeit, Präzision und Produktivität Ihrer Geräte und Anlagen. Viele Systeme wie Mikroskope weisen sogar konkrete Anforderungen bezüglich der maximal erlaubten Schwingbelastung auf. Diese werden in vielen Fällen durch die so genannten Vibration Criteria Kurven (VC-Kurven) beschrieben. Sollte der Aufstellungsort diese Anforderungen nicht einhalten, so ist ein ordnungsgemäßer Betrieb nicht sichergestellt. Auf der anderen Seite besitzen viele Fertigungsmaschinen und Prüfgeräte beispielsweise in der Halbleiter-Industrie verfahrbare XY-Tische. Um hohe Taktraten fahren zu können, müssen diese Tische mit hoher Beschleunigung betrieben werden. Dies regt das System jedoch zu Schwingungen an. Seismion Reactio Isolatoren weisen eine hohe aktive Stabilisierung auf, wodurch das Einschwingungen deutlich reduziert wird, und somit höhere Taktraten gefahren werden können.

Vorteile von Seismion Reactio Isolatoren gegenüber passiven Luftfedersystemen

Die folgenden Diagramme zeigen die Isolationsperformance und das Einschwingverhalten von aktiven Reactio Isolatoren im Vergleich mit herkömmlichen Luftfedersystemen. Die Isolation ist insbesondere im tieffrequenten Bereich bis 10 Hz den Luftfedern deutlich überlegen. Störungen vom Boden werden um den Faktor 7 mal besser isoliert, teilweise sogar um den Faktor 37!

Das Einschwingverhalten ist ebenfalls deutlich verbessert. Während Luftfedersysteme mehrere Sekunden nachschwingen, bringt der Reactio Isolator das System innerhalb von Sekundenbruchteilen zur Ruhe.

Typische Anwendungen

Schwingungsisolation und -stabilisation sind in vielen Anwendungen notwendig, beispielsweise

  • Metrologie
  • Durchlaufwaagen und Analysewaagen
  • Mikromechaniken und Mikrooptiken
  • Mikroskopie (REM, RTM, AFM, …)
  • In-vitro Fertilisation und weitere Medizintechnik-Anwendungen
  • Laser-Anwendungen
  • Mikrohärteprüfung
  • Halbleiterfertigung
  • Rauheitsmessungen
  • und vielem mehr.

Funktionsweise der Seismion Schwingungsisolatoren

Seismion Schwingungsisolatoren Reactio und Reactio Pro arbeiten in allen 6 Freiheitsgraden. Durch eigens entwickelte Sensorik, Elektronik und Aktorik wird ihre Anwendung hochwirksam von Trittschall, Gebäudeschwingungen und anderen Maschinen in der Umgebung isoliert. Daneben werden auch direkte Störungen, beispielsweise durch Interaktion mit dem Benutzer oder durch rotierende Objektivaufsätze und verfahrbare XY-Tische sehr wirkungsvoll stabilisiert. Durch das extrem schnelle Einschwingen in die Ruheposition ist Ihre Anwendung sofort wieder einsatzbereit. Neben der Präzision werden somit auch die Produktivität und der Durchsatz gesteigert. Dank der extrem rauschfreien Elektronik und den hochsensitiven Sensoren sind die Schwingungsisolatoren Reactio und Reactio Pro in der Lage, auch anspruchvollste Vibration Criteria Kurven VC-F und höher einzuhalten.

Seismion Schwingungsisolatoren sind äußerst robust und können auch größere Anregungen und Störungen effektiv ausregeln ohne die Isolation zu unterbrechen. Daneben stellen Seismion Isolatoren keine besonderen Anforderungen an den Aufstellort bzw. dessen Beschaffenheit. Dies vereinfacht den täglichen Umgang mit ihnen, da Sie Ihre Systeme ohne besondere Sorgfalt so benutzen können, wie Sie es bereits gewohnt sind.

Herausragende Isolations- und Stabilisationsperformance bereits bei tiefen Frequenzen

Seismion Reactio und Reactio Pro zählen zu den weltweit performantesten Isolatoren. Bereits ab einer Frequenz von 1 Hz werden Schwingungen reduziert. Oberhalb von 10 Hz werden die Störungen auf nahezu 1% reduziert, dies entspricht einer Reduktion von 35 dB (Reactio) bzw. 40 dB (Reactio Pro). Hierdurch ergeben sich völlig neue Möglichkeiten, Ihre Mess- und Prüfgeräte aufzustellen, sei es in einem mehrgeschossigen Hochhaus, oder in unmittelbarer Nähe zu Produktionsanlagen!

Durch ihre aktive Stabilisator-Funktion werden auch Systeme mit verfahrbaren XY-Tischen oder rotierenden Teilen schnell wieder in die Ruhelage versetzt. Beispiele für derartige Anwendungen sind Rauheitsmessungen, Wafer-Inspektionen und Mikroskopie mit wechselbaren Objektiven. Durch Verwendung von Seismion Isolatoren kann die Produktivität durch eine schnellere Taktung gesteigert werden.

Reactio: Flacher Schwingungsisolator für Tischanwendungen

Seismion Reactio ist ein flacher Isolator für Tischanwendungen und ist in verschiedenen Größen von 500 × 400 bis 1200 × 900 mm erhältlich. Aufgrund der hohen Robustheit der Seismion Isolatoren bestehen keine besonderen Anforderungen an den Aufstellungsort. Es kann bei Bedarf einfach auf normale Tische gestellt werden.

Reactio Pro: Flexibles modulares System für Großgeräte und Workstation-Version mit hochpräziser Nivellierungsfunktion und überragender Isolationsleistung

Der Reactio Pro besteht aus zwei separaten Isolatoren in Balkenformat. Sie sind flexibel kombinierbar, um genau Ihren Bedürfnissen gerecht zu werden. Verschiedene Geometrien sind realisierbar. Typischerweise werden sie verbunden, indem sie unter den Seiten einer optischen Lochplatte platziert werden oder als Isolationsfüße direkt unter großen Anwendungen verwendet werden.

Sie können auch bequem mit einem Metallrahmen und einer Lochplatte kombiniert werden, um einen vollständig aktiven isolierten Arbeitsplatz zu erzeugen.

Der Reacio Pro ist für schwere Nutzlasten bis insgesamt 500 kg geeignet.

Dank ihrer hochwertigen Komponenten bieten die Reactio Pro die beste Isolationsleistung aller Seismion Isolatoren. Die Isolation beginnt bereits im Sub-Hertz-Frequenzbereich und erreicht -10 dB bei 1 Hz. Oberhalb von 10 Hz wird eine Reduktion von mehr als 40 dB realisiert.

Für Anwendungen, die exakt ausgerichtet werden müssen, verfügt die Reactio Pro über ein automatisches Nivelliersystem. Dieses System misst die Abweichung der Deckplatte hochpräzise in allen Ecken. Abweichungen von der Mittelposition, beispielsweise durch eine Schwerpunktverlagerung durch Verfahren eines XY-Tisches oder durch zusätzliche Objekte auf dem Isolator, werden mit einer Genauigkeit von 15 µm automatisch korrigiert. Mit dieser hohen Präzision ist die Seismion Reactio Pro eines der führenden Systeme weltweit.

Kurzspezifikation

  • Hohe Isolationswirkung bereits ab 1 Hz und -40 dB bzw. -35 dB bei 10 Hz
  • Äußerst präzises Levelling mit einer Genauigkeit von 15 µm (Reactio Pro)
  • Mechanisch federnd gelagertes System mit aktiven Regelkräften mit bis zu 32 Newton (vertikal) und 16 Newton (horizontal)
  • Aktive Regelung in allen 6 Freiheitsgraden
  • Keine Druckluft benötigt
  • Einfache und intuitive Bedienung
  • Für Nutzlasten von 500 kg ausgelegt (Reactio: bis 120 kg)
  • Schlichtes, hochwertiges Design